半导体行业为什么离不开超純水設備?半導體行業的發展程度是衡量一個國家科技發展水平的核心指標。發展半導體産業,必然少不了電子芯片的生産制造。制造芯片的過程十分複雜,關鍵的步驟是沈積、光刻膠塗覆、刻蝕、離子注入和封裝。而這些步驟都離不開超純水,因爲芯片生産過程需要超純水進行清洗。
芯片生产过程中需要用的工艺清洗用水,得用几近绝缘的水质,被称作超纯水,出水电阻率达到18Ω .cm左右。除電阻率,半導體生産用水對如微粒子、 TOC、溶解氧等指標也會有相應要求。那麽指標要求這麽高的超純水是如何制備出來的呢?自然界中不存在超純水,要制備這種超純水,就需要將自然水通過合適工藝處理而成。
半导体超純水設備并不只是一种固定工艺系统,而是很多水处理工艺模块的灵活组合~包括預處理過濾部分、RO反滲透技術、EDI連續電解除鹽技術和抛光混床工藝等。
工藝流程主要包括:
水源進水 —— 原水储水箱 —— 多介质过滤器 —— 活性炭过滤器 —— 阻垢装置 —— 5 微米精密过 滤器 —— 双级反渗透纯水机组 —— 反渗透产水储水箱 —— EDI 超纯水制水 机组 —— 超纯水产水储水箱
(可根據行業生産要求,還會配置抛光混床,中間水箱等,根據客戶需求來定制方案)
微信二維碼
熱線電話